手机版 |
产品分类 |
测厚仪
Bowman X射线荧光分析仪
Filmetrics F40光学膜厚测量仪
Filmetrics F20光学膜厚测量仪
薄膜分析仪Filmetrics F10-RT
Filmetrics F3光学膜厚测量仪
Filmetrics F3-sX光学膜厚测量仪
Filmetrics F10-HC光学膜厚测量仪
Filmetrics F10-AR薄膜分析仪
Filmetrics薄膜测厚仪F54
Filmetrics薄膜厚度测量仪测厚仪
光学仪器及设备
智能型多功能椭偏仪
全自动快速椭偏仪
多波长椭偏仪
Film Sense FS-1™多波长椭偏仪
HORIBA椭圆偏振光谱仪
测量/计量仪器
MicroXAM-800光学轮廓仪
Zeta-388白光共聚焦
Zeta-20白光共聚焦
KLA探针式表面轮廓仪P-17(台阶仪)
KLA探针式表面轮廓仪P-7(台阶仪)
其他
mini桌上型主动式隔振台
低频主动消磁器α200 G3000D
HERZ TS系列主动式隔震系统减震台
元素分析仪
Niton XRF手持式合金分析仪
手持分析仪XL2100G XRF
光谱检测分析仪
LabRAM HR Evolution拉曼光谱仪
激光粒度仪
HORIBA LA960 V2激光粒度仪
联系方式 |
产品系列
产品描述
AutoSE-一键式全自动快速椭偏仪
全自动化&高集成度&可视化光斑
操作简单,测试快速,为一般操作工人设计
一键式全自动快速椭偏仪 Auto SE——新型的全自动薄膜测量分析工具。
采用工业化设计,操作简单,可在几秒钟内完成全自动测量和分析,并输出分析报告。
是用于快速薄膜测量和器件质量控制理想的解决方案。
主要特点
1. 液晶调制技术,无机械转动部件,重复性,信噪比高
2. **技术成像系技术,所有样品均可成像,对于透明样品,自动去除样品的背反射信号,使得数据分析更简单.
3. 反射式微光斑,覆盖全谱段,利于非均匀样品图案化样品测试
4. 全自动集成度高,安装维护简便
5. 一键式操作软件,快速简单
6. 自动MAPPING扫描,分析样品镀膜均匀性
技术参数
1. 光谱范围:450-1000 nm
2. 多种微光斑自动选择
3. **光斑可视技术,可观测任何样品表面
4. 自动样品台尺寸:200mmX200mm;XYZ方向自动调节; Z轴高度>35mm
5. 70度角入射
6. CCD探测器